استاد فرامرز حسین بابایی
دانشگاه خواجه نصیرالدین طوسی
591 صفحه به صورت pdf شامل فصل های زیر:
فصل اول : ساختار جامدات
فصل دوم : سیلیکون از معدن تا صنعت الکترونیک
فصل سوم : رشد بلور
فصل چهارم : آماده سازی ویفر
فصل پنجم : اکسیداسیون
فصل ششم : زدایش
فصل هفتم : فرایند نفوذ
فصل هشتم : کاشت یون
فصل نهم : لیتو گرافی کلاسیک
فصل دهم : لیتو گرافی پیشرفته
فصل یازدهم : فلز کاری
فصل دوازدهم : بسته بندی
فصل سیزدهم : اتاق تمیز
فصل چهار دهم : ارزیابی فرایند ها و قطعات
